Senzor temperature in vlažnosti za polprevodniško shemo nadzora vlage v čisti sobi
Razstava izdelkov
Temperaturainvlažnost čistega prostora je v glavnem določena glede na procesne zahteve, vendar je pod pogojem izpolnjevanja procesnih zahtev treba upoštevati občutek udobja.Z izboljševanjem zahtev glede čistoče zraka je prišlo do trenda vse strožjih zahtev glede temperature in vlažnosti.
Ker je natančnost obdelave vedno bolj fina, je območje temperaturnih nihanj vedno manjše.Na primer, v procesu litografske izpostavljenosti pri obsežni proizvodnji integriranih vezij mora biti razlika v koeficientu toplotnega raztezanja med steklom in silicijevo rezino kot materialom za masko vedno manjša.Silicijeva rezina s premerom 100 um, dvig temperature za 1 stopinjo povzroči linearno širitev 0,24 um, zato mora biti temperatura ±0,1 stopinje, hkrati pa je vrednost vlažnosti na splošno nizka, ker se ljudje potijo, bo izdelek onesnažen, še posebej strah delavnice natrijevih polprevodnikov, ta delavnica ne sme preseči 25 stopinj.
Več težav povzroča visoka vlažnost.Ko relativna vlažnost preseže 55 %, se bo na steni cevi za hladilno vodo oblikovala rosa, kar bo povzročilo različne nesreče, če se to zgodi v natančnih napravah ali tokokrogih.Ko je relativna vlažnost 50%, zlahka rjavi.Poleg tega, ko je vlažnost previsoka, se prah, prilepljen na površino silicijevega čipa, kemično adsorbira na površino, da se upre odstranitvi.Višja kot je relativna vlaga, oprijem je težko odstraniti, ko pa je relativna vlaga nižja od 30 %, se delci zaradi delovanja elektrostatične sile zlahka adsorbirajo na površino in veliko število polprevodniških naprav je nagnjeni k zlomu.Optimalno temperaturno območje za proizvodnjo rezin je 35-45%.
Zato je nadzor temperature in vlažnosti še posebej pomemben, HENGKO vam lahko zagotovi vrstorešitve za obdelavo po meri oddajnika temperature in vlažnosti!
Senzor temperature in vlažnosti za polprevodniško shemo nadzora vlage v čisti sobi
Ne najdete izdelka, ki bi ustrezal vašim potrebam?Kontaktirajte naše prodajno osebje zaStoritve prilagajanja OEM/ODM! 
