Polprevodniški filtri

Polprevodniški plinski filtri:

Zagotavljanje brezhibne čistosti plina pri izdelavi čipov

V zapletenem svetu proizvodnje polprevodnikov, kjer sta natančnost in čistost najpomembnejši, je kakovost

uporabljeni plini igrajo ključno vlogo pri določanju uspeha postopka. Nečistoče, tudi na neskončno majhnih ravneh,

lahko uniči občutljivo vezje mikročipov, zaradi česar postanejo okvarjeni in neuporabni. Za zaščito

v tem kritičnem procesu so polprevodniški plinski filtri nepopustljivi varuhi, ki skrbno odstranjujejo onesnaževalce

in zagotavljanje neokrnjene kakovosti plinov, ki tečejo skozi proizvodne linije.

Filtri iz sintrane kovine imajo številne odlične lastnosti in prednosti

1. Izdelano v najsodobnejšem okolju čistih prostorov

Ti filtri so rojeni v najsodobnejši čisti sobi, okolju, kjer se skrbno vzdržujejo brezhibni pogoji, da se zmanjša morebitna kontaminacija. Podvrženi so strogemu proizvodnemu procesu, ki se začne z natančnim varjenjem v atmosferi prečiščenega zraka. Naknadno izpiranje z deionizirano vodo, ki mu sledi visokotlačno izpiranje s filtriranim dušikom, odstrani morebitne zadrževane delce in zmanjša tveganje za izpadanje delcev.

2. Izjemna učinkovitost odstranjevanja delcev

Z izjemno učinkovitostjo filtracije 9 LRV za delce velikosti 0,003 μm, ki upoštevajo stroge standarde, ki jih določata testni metodi SEMI F38 in ISO 12500, ti filtri učinkovito odstranijo vse delce, ki nastanejo zaradi korozije, in delce, ki nastanejo iz gibljivih delov, ter zagotavljajo nedotaknjeno čistost plini.

3. Vrhunska mehanska trdnost

Ti filtri so strogo preizkušeni, da bi zagotovili izjemno odpornost v zahtevnih proizvodnih procesih in okoljih, ki pogosto uporabljajo visoke tlake plina, zagotavljajo neomajno delovanje skozi celotno življenjsko dobo.

4. Preseganje najvišjih industrijskih standardov

Ti filtri presegajo stroge zahteve filtracije za ravnanje s plinom za obdelavo polprevodnikov, zato so podvrženi strogemu testiranju, da se zagotovi, da izpolnjujejo kritično učinkovitost filtracije, natančen nadzor pretoka in varnostne standarde, ki jih zahtevajo sistemi za dovajanje plina v proizvodnji polprevodnikov.

5. Neomajna zavezanost varnosti

Za zaščito pred izpostavljenostjo vnetljivim, jedkim, strupenim in pirofornim procesnim plinom so ohišja filtrov podvržena natančnemu testiranju puščanja, kar zagotavlja, da dosežejo izjemno stopnjo puščanja manj kot 1x10-9 atm scc/sekundo. Ta neomajna zavezanost varnosti zagotavlja, da se nevarni plini zadržijo in preprečijo, da bi povzročili škodo.

6. Brezkompromisna čistost za odličnost pri izdelavi čipov

S svojimi izjemnimi zmogljivostmi filtriranja, neomajno predanostjo varnosti in upoštevanjem najvišjih industrijskih standardov igrajo ti plinski filtri ključno vlogo pri varovanju zapletenega procesa proizvodnje polprevodnikov. Stojijo kot varuhi čistosti in zagotavljajo, da skozi proizvodne linije tečejo le najčistejši plini, s čimer utirajo pot ustvarjanju visoko zmogljivih mikročipov, ki poganjajo naš sodobni svet.

Vrste polprevodniških filtrov

Polprevodniški filtri se uporabljajo v različnih aplikacijah, vključno z:

* Proizvodnja elektronike:

Polprevodniški filtri se uporabljajo za odstranjevanje delcev iz ultra čiste vode, plinov in kemikalij, ki se uporabljajo pri proizvodnji polprevodnikov.

* Kemijsko mehanska planarizacija (CMP):

Polprevodniški filtri se uporabljajo za odstranjevanje delcev iz gošče CMP, ki se uporablja za poliranje polprevodniških rezin.

* Biomedicinski:

Polprevodniški filtri se uporabljajo za odstranjevanje delcev iz tekočin, ki se uporabljajo v medicinski diagnostiki in zdravljenju.

* Okoljski:

Polprevodniški filtri se uporabljajo za odstranjevanje delcev iz zraka in vode.

Obstajajo štiri glavne vrste polprevodniških filtrov:

1. Membranski filtri:

Membranski filtri so izdelani iz tankega, poroznega filma, ki omogoča prehajanje tekočin in hkrati zadržuje delce.

 

Membranski filtri za polprevodnike

 

 

2. Globinski filtri:

Globinski filtri so narejeni iz debele, zavite plasti materiala, ki ujame delce, ko tečejo skozi filter.

 

Globinski filtri za polprevodnike

 

 

3. Adsorbcijski filtri:

Adsorbentni filtri so izdelani iz materiala, ki privlači in zadržuje delce.

 

 Adsorbcijski filtri za polprevodnike

 

 

4. Filtri iz sintrane kovine

Filtri iz sintrane kovine so vrsta globinskega filtra, ki se pogosto uporablja v proizvodnji polprevodnikov. Izdelani so s sintranjem finega kovinskega prahu v porozno strukturo. Sintrani kovinski filtri so znani po svoji visoki vzdržljivosti, visoki učinkovitosti filtracije in sposobnosti, da prenesejo visoke temperature in pritiske.

Prednosti sintranih kovinskih filtrov za proizvodnjo polprevodnikov:

* Visoka vzdržljivost:

Sintrani kovinski filtri so zelo vzdržljivi in ​​lahko prenesejo težke pogoje delovanja, vključno z visokimi temperaturami, pritiski in jedkimi kemikalijami.

 

* Visoka učinkovitost filtracije:

Sintrani kovinski filtri lahko odstranijo delce do velikosti 0,01 mikrona, kar je bistveno za zaščito občutljivih polprevodniških komponent pred kontaminacijo.

* Dolga življenjska doba:

Sintrani kovinski filtri imajo dolgo življenjsko dobo in jih je mogoče enostavno očistiti in ponovno uporabiti.

* Kemijska združljivost:

Sintrani kovinski filtri so združljivi s široko paleto kemikalij, zaradi česar so primerni za uporabo v različnih procesih izdelave polprevodnikov.

Uporaba sintranih kovinskih filtrov v proizvodnji polprevodnikov:

* Čiščenje plina:

Sintrani kovinski filtri se uporabljajo za čiščenje plinov, ki se uporabljajo v proizvodnji polprevodnikov, kot so dušik, vodik in kisik.

* Kemična filtracija:

Sintrani kovinski filtri se uporabljajo za filtriranje kemikalij, ki se uporabljajo v proizvodnji polprevodnikov, kot so kisline, baze in topila.

* Ultračista filtracija vode:

Filtri iz sintrane kovine se uporabljajo za filtriranje ultra čiste vode, ki se uporablja v proizvodnji polprevodnikov.

* Filtriranje gnojevke CMP:

Filtri iz sintrane kovine se uporabljajo za filtriranje gošče CMP, ki se uporablja za poliranje polprevodniških rezin.

Sintrani kovinski filtri so bistveni del procesa izdelave polprevodnikov, ki pomagajo zagotoviti proizvodnjo visokokakovostnih polprevodniških naprav.

 

Vrsta polprevodniškega filtra, ki se uporablja v določeni aplikaciji, je odvisna od velikosti delcev, ki se odstranijo, vrste tekočine, ki se filtrira, in želene stopnje filtracije.

Tukaj je tabela, ki povzema različne vrste polprevodniških filtrov:

Vrsta filtra	Opis	Aplikacije	Slika
Membranski filtri	Izdelan iz tankega, poroznega filma, ki omogoča prehajanje tekočin, medtem ko ujame delce.	Proizvodnja elektronike, CMP, biomedicina, okolje	Membranski filtri za polprevodnike
Globinski filtri	Narejen iz debele, zavite plasti materiala, ki ujame delce, ko tečejo skozi filter.	CMP, biomedicinski, okoljski	Globinski filtri za polprevodnike
Adsorbcijski filtri	Narejen iz materiala, ki privlači in zadržuje delce.	Proizvodnja elektronike, CMP, biomedicina, okolje	Adsorbcijski filtri za polprevodnike
Sintrani kovinski filtri	Izdelano s sintranjem finega kovinskega prahu v porozno strukturo.	Čiščenje plinov, kemična filtracija, filtracija ultračiste vode, filtracija gnojevke CMP	Odpre se v novem oknuwww.hengko.com Sintrani kovinski filtri za polprevodnike

Aplikacija

Sintrani kovinski polprevodniški plinski filtri se pogosto uporabljajo v različnih aplikacijah v industriji polprevodnikov. Zaradi njihovih edinstvenih lastnosti, kot so visoka učinkovitost filtracije, vzdržljivost in sposobnost, da prenesejo visoke temperature in pritiske, so bistveni sestavni del sistemov za dovajanje plina v proizvodnji polprevodnikov.

Tukaj je nekaj posebnih uporab plinskih filtrov iz sintranih kovinskih polprevodnikov:

1. Proizvodnja rezin:

Sintrani kovinski filtri se uporabljajo za čiščenje plinov, ki se uporabljajo pri proizvodnji rezin, kot so dušik, vodik in kisik. Ti plini so bistveni za postopke, kot so epitaksialna rast, jedkanje in dopiranje.

2. Kemična filtracija:

Sintrani kovinski filtri se uporabljajo za filtriranje kemikalij, ki se uporabljajo v proizvodnji polprevodnikov, kot so kisline, baze in topila. Te kemikalije se uporabljajo za različne namene, vključno s čiščenjem, jedkanjem in poliranjem.

3. Filtracija ultračiste vode:

Filtri iz sintrane kovine se uporabljajo za filtriranje ultračiste vode (UPW), ki se uporablja v proizvodnji polprevodnikov. UPW je bistvenega pomena za čiščenje in izpiranje rezin ter za pripravo kemikalij.

4. Filtriranje gnojevke CMP:

Filtri iz sintrane kovine se uporabljajo za filtriranje gošče CMP, ki se uporablja za poliranje polprevodniških rezin. CMP je kritičen proces pri izdelavi mikročipov.

5. Filtracija na mestu uporabe (POU):

Sintrani kovinski filtri se pogosto uporabljajo kot POU filtri, ki so nameščeni neposredno na mestu uporabe, da zagotovijo najvišjo stopnjo filtracije. Filtri POU so še posebej pomembni za aplikacije, kjer je čistost plina ključnega pomena, na primer pri proizvodnji mikroprocesorjev in drugih visoko zmogljivih naprav.

6. Ravnanje s plinom visoke čistosti:

Filtri iz sintrane kovine se uporabljajo v sistemih za ravnanje s plini visoke čistosti za odstranjevanje onesnaževalcev iz plinov, ki se uporabljajo v proizvodnji polprevodnikov. Ti onesnaževalci lahko vključujejo delce, vlago in organske spojine.

7. Proizvodnja mikroelektronike:

Sintrani kovinski filtri se uporabljajo v proizvodnji mikroelektronike, kot so računalniki, tablice, mobilni telefoni, IoT senzorji in krmilne naprave.

8. Filtracija mikroelektromehanskih sistemov (MEMS):

Sintrani kovinski filtri se uporabljajo pri filtraciji MEMS, ki je postopek odstranjevanja onesnaževalcev iz mikroelektromehanskih sistemov. MEMS se uporabljajo v različnih aplikacijah, vključno s senzorji, aktuatorji in pretvorniki.

9. Filtriranje naprave za shranjevanje podatkov:

Sintrani kovinski filtri se uporabljajo pri filtraciji naprav za shranjevanje podatkov, ki je postopek odstranjevanja onesnaževalcev iz naprav za shranjevanje podatkov, kot so trdi diski in pogoni SSD.

Poleg teh posebnih aplikacij se sintrani kovinski polprevodniški plinski filtri uporabljajo tudi v številnih drugih aplikacijah v industriji polprevodnikov. Zaradi njihove vsestranskosti in zanesljivosti so bistveno orodje za proizvajalce polprevodnikov.

Iščete plinske filtre iz polprevodniške sintrane kovine vrhunske kakovosti?

HENGKO je vaš najboljši partner za rešitve OEM v sistemih za proizvodnjo polprevodnikov.

Naši natančno izdelani filtri zagotavljajo zanesljivost in učinkovitost vaših procesov ter vam nudijo prednost na konkurenčnem trgu.

Zakaj izbrati filtre HENGKO?

* Vrhunska kakovost in vzdržljivost
* Prilagojene rešitve, ki ustrezajo vašim posebnim potrebam
* Izboljšana zmogljivost za proizvodnjo polprevodnikov

Ne dovolite, da bi izzivi filtracije zadržali vašo proizvodnjo.

Stopite v stik z nami še danes in raziščite, kako lahko naši filtri iz sintrane kovine spremenijo vaš proizvodni sistem.

Pišite nam naka@hengko.com

Sodelujte s HENGKO in naredite korak k odličnosti v proizvodnji polprevodnikov!