Napredni filtri IGS za površinsko montažo C-Seal za ultra čiste polprevodniške plinske sisteme
Opis
Površinski filtri HENGKO so zasnovani tako, da izpolnjujejo zahtevne zahteve integriranih plinskih sistemov, ki se uporabljajo v polprevodniških orodjih OEM. Z vodilno filtracijo v industriji pri 0,003 µm zagotavljajo izjemno zmogljivost in zanesljivost z učinkovitostjo prestrezanja delcev ≥99,9999999 % (9-LRV) pri 120 slpm.
Ti filtri, izdelani iz robustnega nerjavečega jekla 316L, sintranega s praškom za filtrirni element in ohišje, so skladni s specifikacijami SEMI F86-0304 in imajo dvostranske komponente, prilagojene za 1,125-palčne sisteme za distribucijo plina s konfiguracijo C-tesnila. Podpirajo največji vhodni tlak 3,4 MPa pri 100 °C in največji delovni tlačni diferencial 0,69 MPa pri 100 °C.
Ti specializirani filtri, združljivi s specifikacijami tesnil tipa C in tipa W, dosegajo čistočo na koncu toka z sproščanjem delcev
S površinsko obdelavo Ra< 1,6 µm na zunanji strani in RaZ debelino < 0,13 µm v notranjosti so zasnovani tako, da prenesejo visoke temperature do 460 °C. Ti filtri so zasnovani za enostavno integracijo in modularne nadgradnje, zato poenostavljajo namestitev in vzdrževanje ter pomagajo optimizirati delovanje sistema v aplikacijah za dovajanje in krmiljenje polprevodniških plinov.
Značilnost izdelka
▶ Celotna konstrukcija iz nerjavečega jekla 316L
▶ Miniaturizirana zasnova, kompaktna struktura, prihranek prostora
▶ Odlične lastnosti nadomeščanja in desorpcije plinov
▶ Odporno na visoke temperature, visok tlak in korozijo
▶ Ohišje iz elektropoliranega nerjavečega jekla 316L
▶ Enostavna in učinkovita namestitev in vzdrževanje
▶ Mehansko tesnjenje, strukturno nevarjeno z medijem
Podatkovni list
| Tehnični parametri | Vrednote |
|---|---|
| Material filtrirnega elementa | Sintran prah iz nerjavečega jekla 316L |
| Material ohišja | Nerjaveče jeklo 316L |
| Največji vhodni tlak | 3,4 MPa pri 100 °C |
| Največja obratovalna razlika | 0,69 MPa pri 100 °C |
| Stopnja puščanja helija pri preverjanju | 1 x 10⁻¹¹ cm³/min |
| Stopnja puščanja helija | 1 x 10⁻⁹ cm³/min |
| Površinska obdelava | Zunanja površina Ra< 1,6 μm |
| Notranja površina Ra< 0,13 μm | |
| Najvišja delovna temperatura | 460 °C |
| Učinkovitost prestrezanja delcev | ≥99,9999999 % (9-LRV) pri 120 slpm (referenčni MPPS, vsi delci) |
| Čistoča na nižji stopnji | Sproščanje delcev:< 0,03 delcev/liter (< 1 delec/ft³) |
| Hlapne snovi:< 10 ppb vlage | |
| Velikost prestrezanja delcev | ≥0,003 μm |
| Območje pretoka | 0 ~ 120 slpm |
Velikost
Tukaj je kataloška številka, ki jo lahko naročite, in podrobnosti o velikosti:
| Model izdelka | Pretok | Višina V (mm) | Natančnost filtracije | Stopnja čiščenja |
|---|---|---|---|---|
| Z01B-00637 | 10 slpm | 51,6 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00638 | 40 slpm | 82,9 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00687 | 80 slpm | 126,2 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00688 | 120 slpm | 167,9 | 0,003 μm | C |
Tipične uporabe
Za uporabo z W-tesnilnimi in C-tesnilnimi sistemi za dovod plina na površinsko montažo, 1,125” in 1,5”.
Pošljite nam svoje sporočilo:
