Visoko čista filtracija za ultra čisto proizvodnjo polprevodnikov
Opis
Visokopretočni plinski filter – Posebej zasnovan za filtracijo procesnih plinov ultra visoke čistosti v proizvodnji polprevodnikov. Natančno izdelan iz nerjavečega jekla 316L ima zasnovo z več kolonami ali zloženimi diski, ki zagotavljajo nizek upor pri visokih pretokih, z natančnostjo filtracije, ki doseže 0,003 μm, kar ustreza zahtevam ultra visoke čistosti. Zaradi povsem kovinske konstrukcije je idealna rešitev za filtracijo v dinamičnih okoljih z visokimi temperaturami.
Značilnost izdelka
▶Vsa konstrukcija iz nerjavečega jekla 316L— Zagotavlja vzdržljivost in odpornost proti koroziji.
▶Visok pretok, nizek upor— Optimizirano za visok pretok z minimalno izgubo tlaka.
▶Ultra visoka učinkovitost zadrževanja delcev— Odlično za vzdrževanje ultra čistih pogojev.
▶Odporno na visoke temperature, tlak in korozijo— Primerno za zahtevna okolja.
▶Združljivo z različnimi procesnimi plini— Vsestranski za različne industrijske aplikacije.
▶Idealno za proizvodnjo, testiranje in pakiranje v čistih prostorih— Idealno za uporabo v nadzorovanih okoljih.
▶100-odstotno testiranje integritete— Vsak filter je podvržen obsežnemu testiranju integritete za zagotavljanje kakovosti.
▶100-odstotno testiranje puščanja helija— Preverjeno s testiranjem puščanja helija za zagotovitev zanesljivosti v kritičnih aplikacijah.
Podatkovni list
Tehnični parametri
| Parameter | Specifikacija |
|---|---|
| Material filtrirnega elementa | sintrano v prahu iz nerjavečega jekla 316L |
| Material ohišja | nerjaveče jeklo 316L |
| Maks. vhodni tlak | 207 barov |
| Maks. obratovalni diferenčni tlak | 5,2 bara |
| Stopnja puščanja helija pri validaciji | 2 x 10⁻¹⁰ cm³/min |
| Stopnja puščanja helija | 1 x 10⁻¹⁰ cm³/min |
| Površinska obdelava | |
| Zunanja površina | Ra < 1,6 μm |
| Notranja površina | Ra < 0,2 μm |
| Najvišja delovna temperatura | |
| Inertni plin | 400–500 ℃ |
| Koroziven in reaktiven plin | 50℃ |
| Učinkovitost zadrževanja delcev | ≥99,9999999 % (9LRV) pri 30 slpm |
| Čistoča na nižji stopnji | ≤0,03 delcev/liter pri > 0,01 μm, 30 slpm |
| Velikost zadrževanja delcev | ≥0,003 μm |
Velikost
Tukaj je kataloška številka, ki jo lahko naročite, in podrobnosti o velikosti:
| Model izdelka | Material filtrirnega elementa | Natančnost filtracije (μm) | Vrsta povezave |
|---|---|---|---|
| Z01B-00647 | Nerjaveče jeklo 316L | 10~0,003 | 1/4” |
| Z01B-00648 | Nerjaveče jeklo 316L | 10~0,003 | 1/2” |
| Z01B-00649 | Nerjaveče jeklo 316L | 10~0,003 | 1/8” |
| Z01B-00650 | Nerjaveče jeklo 316L | 10~0,003 | 1” |
| Prilagodljivo | Nerjaveče jeklo 316L | 10~0,003 | Po potrebi |
Tipične uporabe
nekaj tipičnih aplikacijVisoko čiste filtre za razsuti in komunalne filtreinFiltri pretoka plina na plinski ploščadi:
1. Proizvodnja polprevodnikov
*Zagotavlja dovod ultra čistega plina za izdelavo rezin, jedkanje in postopke kemičnega nanašanja iz pare (CVD).
*V sistemih za distribucijo plina v razsutem stanju ohranja visoko čistost dušika, argona in drugih nosilnih plinov.
2. Farmacevtska proizvodnja
*Zagotavlja sterilen plin brez delcev za kritična proizvodna okolja.
*Podpira visoko čistost filtracije za čiste prostore in nadzorovana okolja za ohranjanje integritete izdelka.
3. Laboratorijski plinski sistemi
*Uporablja se v laboratorijskih okoljih za čiščenje plinskih tokov v analitični opremi, kot sta plinska kromatografija in masna spektrometrija.
*Zagotavlja visoko čiste pline za raziskovalne in testne aplikacije ter ščiti občutljive instrumente.
4. Predelava hrane in pijače
*Filtrira CO₂ in druge pline, ki se uporabljajo pri karbonizaciji, pakiranju in skladiščenju, s čimer ohranja varnost in kakovost živil.
*Zagotavlja oskrbo s plinom brez kontaminacije v predelovalnih obratih, zlasti za podjetja za oskrbo s plinom v razsutem stanju.
5. Naftna in plinska industrija
*Prečisti tokove zemeljskega plina s filtracijo na plinski blazini in odstrani onesnaževalce pred skladiščenjem ali prevozom.
*Ščiti opremo v nižji fazi proizvodnje z odstranjevanjem delcev, vlage in nečistoč v visokotlačnih sistemih za pretok plina.
6. Kemična proizvodnja
*Filtrira uporabne pline, kot sta dušik in argon, ki se uporabljajo pri kemijski sintezi in reakcijah.
*Ohranja čistost plina, da prepreči kontaminacijo in reakcijske nedoslednosti.
7. Vesoljska in obrambna industrija
*Zagotavlja visoko čiste pline v proizvodnih in testnih okoljih za vesoljske materiale in komponente.
*Zagotavlja dosledno čistost plina v nadzorovanih okoljih za montažo letal in obrambne opreme.
8. Proizvodnja energije (elektrarne)
*Filtrira pline pod visokim tlakom za hladilne in procesne aplikacije, zlasti v okoljih z visokimi temperaturami.
*Poveča učinkovitost in zmanjša obrabo opreme s preprečevanjem kontaminacije v sistemih za hlajenje in pretok plina.
Te fFiltri so bistveni v vsaki aplikaciji, ki zahteva čist in enakomeren pretok plina ter izboljšuje zaščito opreme,
učinkovitost procesov in kakovost končnega izdelka v vseh panogah.
Pošljite nam svoje sporočilo:
